Í nútíma framleiðsluferli hálfleiðara gegna oblátuvélmenni, sem einn af lykilbúnaðinum, mikilvægu hlutverki. Wafer vélmenni eru aðallega notuð til obláts meðhöndlunar, flokkunar og vinnslu, og nákvæmni þeirra og skilvirkni hefur bein áhrif á heildarhagkvæmni og afrakstur hálfleiðaraframleiðslu. Uppbygging og vinnuregla obláta vélmennisins er sem hér segir:
Uppbygging
1.Robotic armur: Vélfærafræði armur oblátu vélmenni er venjulega hannaður með mörgum ásum til að ná háu hreyfifrelsi. Algengar tegundir vélfæravopna eru SCARA og Cartesian vélmenni.
2. Endeffektor: Þetta er hluti sem snertir beint og grípur oblátið, venjulega hannað sem tómarúm sogbolli eða vélrænni festing til að tryggja að oblátið sé stöðugt og ekki skemmt við meðhöndlun.
3. Hreyfistýringarkerfi: þar á meðal servómótor og drif, sem er notað til að stjórna hreyfingu vélfæraarmsins til að tryggja nákvæma staðsetningu og sléttan gang.
4. Skynjari: notaður til að greina staðsetningu, stærð og stöðu oblátunnar, algengar gerðir skynjara eru meðal annars ljósnemar og leysiskynjarar.
5. Stýrikerfi: þar á meðal stjórnandi og hugbúnaður til að forrita og stjórna virkni vélmennisins. Stýrikerfi samþætta oft háþróaða reiknirit til að gera bestu leiðaráætlun og villuleiðréttingu kleift.
Hvernig það virkar
1. Frumstilling og staðsetning: Vélmennið ákvarðar staðsetningu sjálfs síns og markskífu í gegnum skynjara. Stýrikerfið frumstillir stöðu vélfæraarmsins og undirbýr hann til að framkvæma meðhöndlunarverkefnið.
2. Gríptu oblátuna: Samkvæmt leiðbeiningum stjórnkerfisins færist vélmennaarmurinn í stöðuna þar sem diskurinn er staðsettur. Endeffektorinn grípur um diskinn í gegnum lofttæmissogskál eða vélrænan grip til að tryggja að diskurinn sé stöðugur og ekki skemmdur.
3. Meðhöndlun obláta: Vélfæraarmurinn flytur oblátuna á markstaðinn eftir fyrirfram ákveðnum slóð. Meðan á þessu ferli stendur tryggir hreyfistýringarkerfið að vélfæraarmurinn hreyfist vel og að diskurinn verði ekki fyrir höggi eða titringi.
4. Staðsetning obláta: Vélfærahandleggurinn mun setja oblátuna nákvæmlega í markstöðu og endaáhrifin losa oblátuna til að ljúka meðhöndlunarverkefninu.
5. Fara aftur í upphafsstöðu: Vélfæraarmurinn fer aftur í upphafsstöðu og er tilbúinn til að framkvæma næsta meðhöndlunarverkefni.
Að lokum gegna oblátuvélmenni mikilvægu hlutverki í hálfleiðaraframleiðslu og mikil nákvæmni þeirra og skilvirkni gera þau að ómissandi búnaði í hálfleiðaraframleiðsluferlinu.
